ULVAC TECHNO,Ltd.

 

 

真空材料

【成膜材料】電子ビーム蒸着用ハースライナー

特長

ハースライナーは、 EB蒸着機用コンタミネーション防止、クリーニングの軽減に役立ちます。
過冷却を防ぎ、レートアップが可能です。

特記事項

• 急激なパワー投入は破損の原因となります。
• 外観は焼成品のため、色ムラがあります。
• その他の形状についてもご相談に応じます。

仕様・特性・用途ほか

■適合例

材料 材　質
Mg Al2O3、C、Mo
Al アルミナコンポジット
Si C、ZrO2
Ti C
V Mo
Cr C
Mn C、Mo
Fe Al2O3、MgO、ZrO2
Co Al2O3、MgO
Ni Al2O3、MgO
Cu Al2O3、BN、C、Mo
Zn Al2O3、C、Mo
Ga Al2O3
Ge Al2O3、C
Se Al2O3、C
Y Al2O3、Ta
Rh C、ZrO2
Pd Al2O3
Ag Al2O3、C、Mo
In Al2O3、C、Mo、Ta
Sn Al2O3、C、Ta
Pt C、ZrO2
Au Al2O3、BN、C、Mo、W
Pb Al2O3、Fe、W
Bi Al2O3、C、Mo、Ta

■ハース容量

蒸着源種類 容　量（CC）
EGK-3 2.6
EGK-3M 2.9
EGL-35 40
EGL-35M 10または40
EGL-206M/EGN-206M 10または20
EGL-406M/EGN-406M 10または20または40
EGL-110 110
EGL-80M 110
EGL-103S 10

 

※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。

※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。

※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。

※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。

真空材料おすすめコンテンツ

 

アルバックテクノ株式会社 ULVAC TECHNO,Ltd.