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真空材料

【成膜材料】電子ビーム蒸着材料

概要

電子ビーム蒸着材料を各種取り揃えております。

仕様・特性・用途ほか

■表１ 常備在庫品

材　質	純度（％）	形状（mm)	分析不純物
Ti	99.8	φ13×7.5	Fe、C
Ti	99.5	0.5×8×30	Fe、C
Ni	99.96	10×14×20	C、Si、Mn、Fe、Co、P、S
Ni	99.96	10×14×7	C、Si、Mn、Fe、Co、P、S
Mo	99.98	10×12.5×7	Ni、Fe、Cu、C

※本製品はデバイス生産用に用いることによって生じる二次的損害については責任を負いかねます。
　 また、本製品が現在及び将来の貴社の特定の使用目的に適合していることについては保証できません。
　 あらかじめご了承ください。

■蒸着源

蒸着材料	純度 （%）	真比重 （g/cc）	蒸発温度（℃）		形　状					材　質		EB法 適否	備考
		融点 （℃）	蒸気圧 1×10-2Pa	蒸気圧 1×10-4Pa	ブロック	粒状 粉状	薄片	ワイヤ	板	ボート フィラメント	ルツボ
B	99.0	2.38	※1797	※1548	－	－	－	－	－	－	－	不適	－
		2225
C	99.9～ 99.999	2.25	※2137	※1867	○	○	－	－	○	－	－	不適	－
		3827
Mg	99.9～ 99.99	1.74	※327	※274	○	－	○	－	－	Mo,Ta,W	Mo,C アルミナ	良	－
		650
Al	99.0～ 99.999	2.70	1010	817	○	－	－	○	○	W, BN コンポジット	アルミナ コンポジッド	良	ぬれ性強いRM合金化
		660
Si	99.999～ 11N	2.34	1337	1147	○	－	－	－	－	－	ジルコニア C	優	酸化物と反応
		1410
Ti	99.8～ 99.99	4.50	1453	1235	○	○	－	○	○	Ta	C	優	Wと反応しTaとは反応せず
		1670
V	99.7	6.10	1547	1332	－	－	○	－	－	Mo	Mo	優	WとTaと合金化、 Moとは作らず
		1902
Cr	99.8～ 99.998	7.20	※1157	※977	○	○	○	－	○	W	C	良	－
		1875
Mn	99.9～ 99.99	7.44	647	572	－	－	○	－	－	Mo,Ta,W	アルミナ Mo,C	良	RMにぬれる
		1244
Fe	99.9～ 99.99	7.86	1180	998	○	－	－	○	○	W	アルミナ マグネシア	優	RWと合金化
		1536
Co	99.0～ 99.99	8.90	1200	990	○	○	－	○	○	W	アルミナ マグネシア	優	Mo,Ta,Wと合金化
		1492
Ni	99.0～ 99.96	8.90	1262	987	○	○	－	○	○	W	アルミナ マグネシア	優	Mo,Ta,Wと合金化
		1453
Cu	99.9～ 99.99	8.96	1017	857	○	○	○	○	○	Mo,Ta,W	Mo,BN,C アルミナ	優	Mo,Ta,Wにややぬれる
		1083.4
Zn	99.999	7.14	250	177	○	○	－	－	－	Mo,Ta,W	Mo,アルミナ C	優	RMにぬれる 合金化せず
		419.5
Ga	99.99	5.91	807	747	○	○	－	－	－	－	アルミナ	良	耐火物と反応
		29.8
Ge	99.999	5.32	1167	957	○	－	－	－	○	Mo,Ta,W,G	アルミナ,C	優	RMにぬれる Gにぬれにくい
		937.3
Se	99.9～ 99.99	4.79	170.1	127	○	○	－	－	－	Mo,W	アルミナ C	良	毒性注意 ぬれ性強い
		217
Y	99.9	4.48	1157	973	○	○	○	－	○	Ta,W	アルミナ Ta	良	－
		1502
Zr	99.2	6.49	1987	1702	○	スポンジ ○	－	－	○	W	－	優	Wとわずかに合金をつくる
		1852
Nb	99.9	8.4	2287	1977	○	－	－	○	○	W	－	優	Wと合金をつくる
		2467
Mo	99.9～ 99.98	10.2	2117	1822	○	－	－	○	○	－	－	優	ワイヤへ直接通電可
		2617
Rh	99.9	12.44	1707	1472	○	－	－	○	－	W	C ジルコニア	良	－
		1960
Pd	99.95	12.02	1192	997	○	○	－	○	○	W	アルミナ	良	RMと合金を作る
		1552
Ag	99.99～ 99,999	10.492	684	617	○	○	－	○	－	Mo,Ta,W	Mo,C アルミナ	優	Wにぬれる
		961
Cd	99.9～ 99.999	8.65	180	120	○	○	－	－	－	Mo,Ta,W	アルミナ Ta	不適	毒性注意
		321.03
In	99.9～ 99.999	7.31	742	597	○	○	－	○	○	Mo,W	Ta,Mo,C アルミナ	優	－
		156.6
Sn	99.9～ 99.9999	7.29	997	807	○	○	－	○	－	Mo,Ta	Ta,C アルミナ	優	Moぬらし反応
		231.91
Sb	99.9999	6.62	425	345	○	－	－	－	－	Mo,Ta	BN,C アルミナ	不適	毒性注意
		631
Te	99.99～ 99.9999	6.25	277	207	○	○	－	－	－	Mo,Ta,W	Mo,C,Ta アルミナ	不適	毒性注意
		449.8
希土類	99.9	－	－		○	－	－	－	○	Ta	アルミナ	不適	－
		－
Hf	98.0	13.3	3090	2250	スポンジ ○	－	－	－	－	－	－	良	－
		2227
Ta	99.9	16.6	2590	2240	○	－	－	○	○	－	－	優	ワイヤへ直接通電可
		2998
W	99.95	19.3	2757	2407	○	－	－	○	○	－	－	良	酸化し易い
		3380
Re	－	21.2	2571	2207	○	－	－	－	－	－	－	－	－
		3160
Ir	－	22.5	2380	2080	○	－	－	－	－	－	－	－	－
		2443
Pt	99.95～ 99.995	21.45	1747	1492	○	○	－	○	○	W	C ジルコニア	優	Ta,Nb,Moと合金を作る
		1770
Au	99.99	19.3	1132	947	○	○	－	○	○	Mo,W	Mo,BN,G,W アルミナ	優	W,Moぬらす Taは合金を作る
		1063
Pb	99.9999	11.4	497	427	○	○	－	－	－	Mo,Ta,W	W,Fe アルミナ	優	RMとぬれない
		327.3
Bi	99.9～ 99.9999	9.8	520	410	○	○	－	－	－	Mo,Ta,W,Ni	Mo,C,Ta アルミナ	良	－
		271.37

※＝昇華　　　　○＝製作可能　　　　RM＝Mo,Ta,W等

 

※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。

※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。

※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。

※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。

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