真空材料
【成膜材料】電子ビーム蒸着材料
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概要
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電子ビーム蒸着材料を各種取り揃えております。
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仕様・特性・用途ほか
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■表1 常備在庫品
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■蒸着源
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※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。
※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。
※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。
※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。
材 質 | 純度(%) | 形状(mm) | 分析不純物 |
---|---|---|---|
Ti | 99.8 | φ13×7.5 | Fe、C |
Ti | 99.5 | 0.5×8×30 | Fe、C |
Ni | 99.96 | 10×14×20 | C、Si、Mn、Fe、Co、P、S |
Ni | 99.96 | 10×14×7 | C、Si、Mn、Fe、Co、P、S |
Mo | 99.98 | 10×12.5×7 | Ni、Fe、Cu、C |
※本製品はデバイス生産用に用いることによって生じる二次的損害については責任を負いかねます。
また、本製品が現在及び将来の貴社の特定の使用目的に適合していることについては保証できません。
あらかじめご了承ください。
蒸着材料 | 純度 (%) |
真比重 (g/cc) |
蒸発温度(℃) | 形 状 | 材 質 | EB法 適否 |
備考 | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
融点 (℃) |
蒸気圧 1×10-2Pa |
蒸気圧 1×10-4Pa |
ブロック | 粒状 粉状 |
薄片 | ワイヤ | 板 | ボート フィラメント |
ルツボ | ||||
B | 99.0 | 2.38 |
※1797 | ※1548 | - | - | - | - | - | - | - | 不適 | - |
2225 | |||||||||||||
C | 99.9~ 99.999 |
2.25 |
※2137 |
※1867 | ○ | ○ | - | - | ○ | - | - | 不適 | - |
3827 | |||||||||||||
Mg | 99.9~ 99.99 |
1.74 | ※327 |
※274 | ○ | - | ○ | - | - | Mo,Ta,W | Mo,C アルミナ |
良 | - |
650 | |||||||||||||
Al | 99.0~ 99.999 |
2.70 | 1010 |
817 | ○ | - | - | ○ | ○ | W, BN コンポジット |
アルミナ コンポジッド |
良 | ぬれ性強いRM合金化 |
660 | |||||||||||||
Si | 99.999~ 11N |
2.34 | 1337 |
1147 | ○ | - | - | - | - | - | ジルコニア C |
優 | 酸化物と反応 |
1410 | |||||||||||||
Ti | 99.8~ 99.99 |
4.50 |
1453 |
1235 | ○ | ○ | - | ○ | ○ | Ta | C | 優 | Wと反応しTaとは反応せず |
1670 | |||||||||||||
V | 99.7 | 6.10 |
1547 |
1332 | - | - | ○ | - | - | Mo | Mo | 優 | WとTaと合金化、 Moとは作らず |
1902 | |||||||||||||
Cr | 99.8~ 99.998 |
7.20 |
※1157 |
※977 | ○ | ○ | ○ | - | ○ | W |
C | 良 | - |
1875 | |||||||||||||
Mn | 99.9~ 99.99 |
7.44 |
647 |
572 | - | - | ○ | - | - | Mo,Ta,W | アルミナ Mo,C |
良 | RMにぬれる |
1244 | |||||||||||||
Fe | 99.9~ 99.99 |
7.86 |
1180 |
998 | ○ | - | - | ○ | ○ | W | アルミナ マグネシア |
優 | RWと合金化 |
1536 | |||||||||||||
Co | 99.0~ 99.99 |
8.90 |
1200 |
990 | ○ | ○ | - | ○ | ○ | W | アルミナ マグネシア |
優 | Mo,Ta,Wと合金化 |
1492 | |||||||||||||
Ni | 99.0~ 99.96 |
8.90 | 1262 |
987 | ○ | ○ | - | ○ | ○ | W | アルミナ マグネシア |
優 | Mo,Ta,Wと合金化 |
1453 | |||||||||||||
Cu |
99.9~ 99.99 |
8.96 | 1017 |
857 | ○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
Mo,Ta,W |
Mo,BN,C アルミナ |
優 |
Mo,Ta,Wにややぬれる |
1083.4 | |||||||||||||
Zn |
99.999 |
7.14 | 250 |
177 | ○ |
○ |
- |
- |
- |
Mo,Ta,W |
Mo,アルミナ C |
優 |
RMにぬれる 合金化せず |
419.5 | |||||||||||||
Ga |
99.99 |
5.91 | 807 |
747 | ○ |
○ |
- |
- |
- |
- |
アルミナ |
良 |
耐火物と反応 |
29.8 | |||||||||||||
Ge |
99.999 |
5.32 | 1167 |
957 | ○ |
- |
- |
- |
○ |
Mo,Ta,W,G |
アルミナ,C |
優 |
RMにぬれる Gにぬれにくい |
937.3 | |||||||||||||
Se |
99.9~ 99.99 |
4.79 | 170.1 |
127 | ○ |
○ |
- |
- |
- |
Mo,W |
アルミナ C |
良 |
毒性注意 ぬれ性強い |
217 | |||||||||||||
Y |
99.9 |
4.48 | 1157 |
973 | ○ |
○ |
○ |
- |
○ |
Ta,W |
アルミナ Ta |
良 |
- |
1502 | |||||||||||||
Zr |
99.2 |
6.49 | 1987 |
1702 | ○ |
スポンジ ○ |
- |
- |
○ |
W |
- |
優 |
Wとわずかに合金をつくる |
1852 | |||||||||||||
Nb |
99.9 |
8.4 | 2287 |
1977 | ○ |
- |
- |
○ |
○ |
W |
- |
優 |
Wと合金をつくる |
2467 | |||||||||||||
Mo |
99.9~ 99.98 |
10.2 | 2117 |
1822 | ○ |
- |
- |
○ |
○ |
- |
- |
優 |
ワイヤへ直接通電可 |
2617 | |||||||||||||
Rh |
99.9 |
12.44 | 1707 |
1472 | ○ |
- |
- |
○ |
- |
W |
C ジルコニア |
良 |
- |
1960 | |||||||||||||
Pd |
99.95 |
12.02 | 1192 |
997 | ○ |
○ |
- |
○ |
○ |
W |
アルミナ |
良 |
RMと合金を作る |
1552 | |||||||||||||
Ag |
99.99~ 99,999 |
10.492 | 684 |
617 | ○ |
○ |
- |
○ |
- |
Mo,Ta,W |
Mo,C アルミナ |
優 |
Wにぬれる |
961 | |||||||||||||
Cd |
99.9~ 99.999 |
8.65 | 180 |
120 | ○ |
○ |
- |
- |
- |
Mo,Ta,W |
アルミナ Ta |
不適 |
毒性注意 |
321.03 | |||||||||||||
In |
99.9~ 99.999 |
7.31 | 742 |
597 | ○ |
○ |
- |
○ |
○ |
Mo,W |
Ta,Mo,C アルミナ |
優 |
- |
156.6 | |||||||||||||
Sn |
99.9~ 99.9999 |
7.29 | 997 |
807 | ○ |
○ |
- |
○ |
- |
Mo,Ta |
Ta,C アルミナ |
優 |
Moぬらし反応 |
231.91 | |||||||||||||
Sb |
99.9999 |
6.62 | 425 |
345 | ○ |
- |
- |
- |
- |
Mo,Ta |
BN,C アルミナ |
不適 |
毒性注意 |
631 | |||||||||||||
Te |
99.99~ 99.9999 |
6.25 | 277 |
207 | ○ |
○ |
- |
- |
- |
Mo,Ta,W |
Mo,C,Ta アルミナ |
不適 |
毒性注意 |
449.8 | |||||||||||||
希土類 |
99.9 |
- | - |
○ |
- |
- |
- |
○ |
Ta |
アルミナ |
不適 |
- |
|
- | |||||||||||||
Hf |
98.0 |
13.3 | 3090 |
2250 | スポンジ ○ |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
良 |
- |
2227 | |||||||||||||
Ta |
99.9 |
16.6 | 2590 |
2240 | ○ |
- |
- |
○ |
○ |
- |
- |
優 |
ワイヤへ直接通電可 |
2998 | |||||||||||||
W |
99.95 |
19.3 | 2757 |
2407 | ○ |
- |
- |
○ |
○ |
- |
- |
良 |
酸化し易い |
3380 | |||||||||||||
Re |
- |
21.2 | 2571 |
2207 | ○ |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
3160 | |||||||||||||
Ir |
- |
22.5 | 2380 |
2080 | ○ |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
2443 | |||||||||||||
Pt |
99.95~ 99.995 |
21.45 | 1747 |
1492 | ○ |
○ |
- |
○ |
○ |
W |
C ジルコニア |
優 |
Ta,Nb,Moと合金を作る |
1770 | |||||||||||||
Au |
99.99 |
19.3 | 1132 |
947 | ○ |
○ |
- |
○ |
○ |
Mo,W |
Mo,BN,G,W アルミナ |
優 |
W,Moぬらす Taは合金を作る |
1063 | |||||||||||||
Pb |
99.9999 |
11.4 | 497 |
427 | ○ |
○ |
- |
- |
- |
Mo,Ta,W |
W,Fe アルミナ |
優 |
RMとぬれない |
327.3 | |||||||||||||
Bi |
99.9~ 99.9999 |
9.8 | 520 |
410 | ○ |
○ |
- |
- |
- |
Mo,Ta,W,Ni |
Mo,C,Ta アルミナ |
良 |
- |
271.37 |
※=昇華 ○=製作可能 RM=Mo,Ta,W等
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