真空材料
【成膜材料】電子ビーム蒸着材料
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概要
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電子ビーム蒸着材料を各種取り揃えております。
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仕様・特性・用途ほか
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■表1 常備在庫品
材 質 純度(%) 形状(mm) 分析不純物 Ti 99.8 φ13×7.5 Fe、C Ti 99.5 0.5×8×30 Fe、C Ni 99.9 10×14×20 C、Si、Mn、Fe、Co、P、S Ni 99.9 10×14×7 C、Si、Mn、Fe、Co、P、S Mo 99.9 10×12.5×7 Ni、Fe、Cu、C ※本製品はデバイス生産用に用いることによって生じる二次的損害については責任を負いかねます。
また、本製品が現在及び将来の貴社の特定の使用目的に適合していることについては保証できません。
あらかじめご了承ください。 -
■蒸着源
蒸着材料 純度
(%)真比重
(g/cc)蒸発温度(℃) 形 状 材 質 EB法
適否備考 融点
(℃)蒸気圧
1×10-2Pa蒸気圧
1×10-4Paブロック 粒状
粉状薄片 ワイヤ 板 ボート
フィラメントルツボ B 99.0 2.38 ※1797 ※1548 - - - - - - - 不適 - 2225 C 99.9~
99.9992.25 ※2137 ※1867 ○ ○ - - ○ - - 不適 - 3827 Mg 99.9~
99.991.74 ※327 ※274 ○ - ○ - - Mo,Ta,W Mo,C
アルミナ良 - 650 Al 99.0~
99.9992.70 1010 817 ○ - - ○ ○ W,
BN コンポジットアルミナ
コンポジッド良 ぬれ性強いRM合金化 660 Si 99.999~
11N2.34 1337 1147 ○ - - - - - ジルコニア
C優 酸化物と反応 1410 Ti 99.8~
99.994.50 1453 1235 ○ ○ - ○ ○ Ta C 優 Wと反応しTaとは反応せず 1670 V 99.7 6.10 1547 1332 - - ○ - - Mo Mo 優 WとTaと合金化、
Moとは作らず1902 Cr 99.8~
99.9987.20 ※1157 ※977 ○ ○ ○ - ○ W C 良 - 1875 Mn 99.9~
99.997.44 647 572 - - ○ - - Mo,Ta,W アルミナ
Mo,C良 RMにぬれる 1244 Fe 99.9~
99.997.86 1180 998 ○ - - ○ ○ W アルミナ
マグネシア優 RWと合金化 1536 Co 99.0~
99.998.90 1200 990 ○ ○ - ○ ○ W アルミナ
マグネシア優 Mo,Ta,Wと合金化 1492 Ni 99.0~
99.968.90 1262 987 ○ ○ - ○ ○ W アルミナ
マグネシア優 Mo,Ta,Wと合金化 1453 Cu 99.9~
99.998.96 1017
857 ○ ○ ○ ○ ○ Mo,Ta,W Mo,BN,C
アルミナ優 Mo,Ta,Wにややぬれる 1083.4 Zn 99.999 7.14 250
177 ○ ○ - - - Mo,Ta,W Mo,アルミナ
C優 RMにぬれる
合金化せず419.5 Ga 99.99 5.91 807
747 ○ ○ - - - - アルミナ 良 耐火物と反応 29.8 Ge 99.999 5.32 1167
957 ○ - - - ○ Mo,Ta,W,G アルミナ,C 優 RMにぬれる
Gにぬれにくい937.3 Se 99.9~
99.994.79 170.1
127 ○ ○ - - - Mo,W アルミナ
C良 毒性注意
ぬれ性強い217 Y 99.9 4.48 1157
973 ○ ○ ○ - ○ Ta,W アルミナ
Ta良 - 1502 Zr 99.2 6.49 1987
1702 ○ スポンジ
○- - ○ W - 優 Wとわずかに合金をつくる 1852 Nb 99.9 8.4 2287
1977 ○ - - ○ ○ W - 優 Wと合金をつくる 2467 Mo 99.9~
99.9810.2 2117
1822 ○ - - ○ ○ - - 優 ワイヤへ直接通電可 2617 Rh 99.9 12.44 1707
1472 ○ - - ○ - W C
ジルコニア良 - 1960 Pd 99.95 12.02 1192
997 ○ ○ - ○ ○ W アルミナ 良 RMと合金を作る 1552 Ag 99.99~
99,99910.492 684
617 ○ ○ - ○ - Mo,Ta,W Mo,C
アルミナ優 Wにぬれる 961 Cd 99.9~
99.9998.65 180
120 ○ ○ - - - Mo,Ta,W アルミナ
Ta不適 毒性注意 321.03 In 99.9~
99.9997.31 742
597 ○ ○ - ○ ○ Mo,W Ta,Mo,C
アルミナ優 - 156.6 Sn 99.9~
99.99997.29 997
807 ○ ○ - ○ - Mo,Ta Ta,C
アルミナ優 Moぬらし反応 231.91 Sb 99.9999 6.62 425
345 ○ - - - - Mo,Ta BN,C
アルミナ不適 毒性注意 631 Te 99.99~
99.99996.25 277
207 ○ ○ - - - Mo,Ta,W Mo,C,Ta
アルミナ不適 毒性注意 449.8 希土類 99.9 - - ○ - - - ○ Ta アルミナ 不適 - - Hf 98.0 13.3 3090
2250 スポンジ
○- - - - - - 良 - 2227 Ta 99.9 16.6 2590
2240 ○ - - ○ ○ - - 優 ワイヤへ直接通電可 2998 W 99.95 19.3 2757
2407 ○ - - ○ ○ - - 良 酸化し易い 3380 Re - 21.2 2571
2207 ○ - - - - - - - - 3160 Ir - 22.5 2380
2080 ○ - - - - - - - - 2443 Pt 99.95~
99.99521.45 1747
1492 ○ ○ - ○ ○ W C
ジルコニア優 Ta,Nb,Moと合金を作る 1770 Au 99.99 19.3 1132
947 ○ ○ - ○ ○ Mo,W Mo,BN,G,W
アルミナ優 W,Moぬらす
Taは合金を作る1063 Pb 99.9999 11.4 497
427 ○ ○ - - - Mo,Ta,W W,Fe
アルミナ優 RMとぬれない 327.3 Bi 99.9~
99.99999.8 520
410 ○ ○ - - - Mo,Ta,W,Ni Mo,C,Ta
アルミナ良 - 271.37 ※=昇華 ○=製作可能 RM=Mo,Ta,W等
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※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。
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