真空材料
【金属加工品】高融点金属加工品
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概要
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ボート、フィラメント、アークチャンバー、ヒーターなど高融点金属加工品は、ステンレス鋼、銅(Cu)をはじめ、タングステン(W)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)など各種材質を取り扱っております。
半導体製造プロセス用としてイオン注入用アークチャンバー、スパッタ装置用シャッター治具などの特注製作も行っております。 -
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