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真空材料

【成膜材料】ハースデッキカバー

概要

ハースデッキカバーは、ハースデッキに付着した金属をはがす作業を低減します。

仕様・特性・用途ほか

■特長

1.ハースデッキを傷つけることなくスマートに膜剥離

2.ハースデッキへの不純物の食い込み防止

3.ハースデッキのたわみに起因した故障が解消

4.ハースデッキの長寿命化

■適合ハース

●EGL-35M

●EGL-206M

●EGL-406M

●EGL-80M

※ハースデッキカバーは、ハースデッキ本体とセットでのご購入となります。 

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