真空材料
【成膜材料】ハースデッキカバー
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概要
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ハースデッキカバーは、ハースデッキに付着した金属をはがす作業を低減します。
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仕様・特性・用途ほか
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■特長
1.ハースデッキを傷つけることなくスマートに膜剥離
2.ハースデッキへの不純物の食い込み防止
3.ハースデッキのたわみに起因した故障が解消
4.ハースデッキの長寿命化
■適合ハース
●EGL-35M
●EGL-206M
●EGL-406M
●EGL-80M
※ハースデッキカバーは、ハースデッキ本体とセットでのご購入となります。
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