真空材料
【セラミックス製品】ファインセラミックス
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概要
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最も汎用的なアルミナは、99.5％純度品と96％純度品をご用意しております。
焼成前の加工精度を向上することにより、短納期、低コストを実現しております。
他に高強度であるジルコニア、耐熱性・熱伝導率が高いマグネシア、熱伝導率が非常に良い窒化アルミ、耐熱衝撃セラミックス、窒化珪素も単品より迅速に対応いたします。 -
仕様・特性・用途ほか
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■特長
（1）所要の高温に耐え、耐熱性・機密性に優れています。
（2）熱衝撃に強く、高温強度に優れています。
（3）高温での変化が少なく、耐クリープ性に優れています。
（4）化学的に安定で、耐食性に優れています。
■主な用途
・液晶用…マスク部品、絶縁部品、耐食性部品各種
・半導体用…ウエハハンド、絶縁部品、絶縁リング
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■代表特性値
素地記号 特性 |
アルミナ99.5 ACFA-99 |
アルミナ96 ACFA-96 |
ジルコニア VCFZ-Y |
マグネシア VCFM-P |
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|---|---|---|---|---|---|
| 色 調 | 象牙色 | 白色 | 乳白色 | クリーム色 | |
| 嵩密度 （g/cm3） |
3.9 | 3.6 | 6 | 3.2 | |
| 吸水率（%） | 0 | 0 | 0 | ＜0.2 | |
| 機 械 的 特 性 |
曲げ強さ （MPa） |
340～450 | 250 | ＞1200 | ＞100 |
| 圧縮強さ （MPa） |
2500～2900 | 700～1200 | ＞5000 | － | |
| ヤング率 （GPa） |
350～380 | 320～350 | 180～220 | － | |
| ポアソン比 | 0.23～0.24 | 0.23～0.24 | 0.3～0.31 | － | |
| 硬度 （GPa） |
15 | 14 | 12 | － | |
| 熱 的 特 性 |
熱膨張係数 （×10-6） ［0～800℃］ |
8 | 7.9 | 11 | 13 |
| 熱伝導率 （W/m・k） |
30～32.7 | 24～26 | 5 | 11 | |
| 耐熱衝撃抵抗 （℃） |
200 | 300 | 300 | 150 | |
| 最高使用温度 （℃） |
1500 | 1400 | 1500 | 1700 | |
| 電 気 的 特 性 |
誘電率 ［1MHz］ |
10～10.2 | 9.4～9.6 | 14～16 | － |
| 誘電正接 tanδ ［1MHz］ （×10-4） |
4～10 | 6～12 | － | － | |
| 体積抵抗率 （Ω・cm） |
＞1014 | ＞1013 | ＞1012 | ＞1013 | |
| 絶縁破壊電圧 （KV/mm） |
＞10 | ＞10 | ＞10 | － | |
※上記数値はテストピースによる参考値です。使用条件や形状により異なる場合があります。
※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。
※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。
※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を破棄する場合は、法令に従って破棄してください。
※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。
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