部品寿命と洗浄サイクルの延長、有価物の回収等を通じて トータルコストダウン を目指します。 真空装置全体の豊富な知識を基に、お客様個々のプロセスに最適な表面処理と洗浄をご提案します。

選択的除膜

●洗浄による部品のダメージを出来るだけ抑えて、選択的に付着物を除去することで部品寿命の延長を図ります。

各種溶射処理

●部品材質と付着物との熱膨張差によって発生する膜剥離やパーティクルを、溶射膜の柔軟性と表面のアンカー効果を利用して低減いたします。

●部品材質や成膜プロセスにより、お客様個々に最適な表面処理を提案いたします。

• 
  A処理
• 
  HA処理　超粗面
• 
  CuAl処理
• 
  CuAl処理 超粗面
• 
  TNA1処理
• 
  アルミナ処理
• 
  特殊溶射処理

特殊溶射処理

●化学薬品を使わない新剥離技術と新溶射技術を併せた再生洗浄。

• 
  Cu堆積膜
• 
  Ti堆積膜

ドライアイスブラスト洗浄

●CVD、エッチング装置に使用されるアルマイト処理部品の洗浄に最適です。

●ドライアイスを噴射し、サーマルショック及び昇華時の膨張エネルギーによって付着物を除去します。

●アルマイトへのダメージを最小限に抑えます。

セラミック洗浄（Rehabilitate Ceramics）

●セラミック部品に付着したフッ化物や取れにくい黄ばみを除去します。