無害化洗浄サービス
有害物質を使用した真空機器の取り扱いについて有害物質を使用した真空機器の買い取りおよび無害化洗浄サービスのご提供も行っています。ただし、放射性物質については取り扱いを行っていませんので、詳しくは当社リセール本部に確認してください。
有害物質とは
有毒なガスの成分を含んだもの高濃度の酸、アルカリ生成物特定化学物質重金属劇薬物 無害化の必要な真空機器（赤字該当装置）
| 主な装置 | ガスによる汚染 | 材料による汚染 | 副生物による汚染 | 基板による汚染 |
| 蒸着装置 | 通常なし | 蒸発材料 Pb，Se等 | 通常なし | GaAs基板等 |
| スパッタ装置 | 通常なし | ターゲット材料 Cd等 | 通常なし | GaAs基板等 |
| エッチング装置 | CL系、BCL等 | CL系、BCL等 | フッ酸等 | GaAs基板等 |
| CVD装置 | シラン系、MoH6,WF6 | シラン系、MoH6,WF6 | フッ酸等 | GaAs基板等 |
| イオン注入機 | PH3,AsH3, B2H6 | PH3,AsH3, B2H6 | フッ酸等 | GaAs基板等 |
| その他 | 要確認 | 要確認 | 要確認 | GaAs基板等 |
